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在加工过程中，不对其他要素构成全部危害的情况下，消除颗粒的速率是非常要害的。

空气污染物的根源将会存有于手套箱、过虑操控模块等区域。竖直或水准气旋的挑选，在于屋子的结构和机器设备的放置部位，流场就能够将空气污染物带去。

依据洁净室外的主要用途，还能够挑选其他的机器设备，比如，在循环系统风加新风系统处理系统软件中，运用hepa过滤设备用碳吸咐或类似效果的生成过滤设备处理voc，静电感应过虑箱。

物理式净化方式

吸附性过滤—活性炭　活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样，所有的分子之间都具有相互引力。

机械性过滤—hepa网　hepa(high efficiency particulate air filter)，中文意思为空气过滤器，达到hepa标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，hepa网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。hepa过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。

噪声控制　　

洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足---的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是：　　

1．烦恼的效应　　

由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。

由于净化车间是密闭性很强的修建，其安全分散变成十分重要和---的疑问，和净化空调体系设置也有密切关系。通常应留意以下几点：

1.每一出产层防火区或净化区至少设2个安全出口，只要面积小于50㎡，人员少于5人时，可答应只设一个安全出口。

2.人净进口不应作分散出口。由于人净道路通常转弯抹角，一旦烟火迷漫，需求人员很快跑到室外是很艰难的事。

3.吹淋室不能作为通常收支通道，由于这种门常为两扇联锁或主动，一旦出现毛病，十分影响分散，所以通常均在吹淋室设旁通门，作业人员多于5人时有---设此门。平常作业人员出净化车间时不应走吹淋室而应走旁通门。