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洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，净化车间，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

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净化车间的管线十分复杂，所以对这些管线均选用荫蔽组织方法。详细荫蔽组织方法有以下几种。

1.技能夹层

(1)顶部技能夹层。在这种夹层内通常因送、回风管的断面很大，万级净化车间，故作为夹层内首先思考的目标。通常将其组织在夹层的上方，其下组织电气管线。当这种夹层的底板可接受必定分量时，净化车间价格，能够在上面设置过滤器及排风设备等。

(2)房间技能夹层。这种方法和只要顶部夹层比较，能够削减夹层的布线与高度，能够省去回风管道回来上夹层所需的技能夹道。鄙人夹道内还可设回风机动力设备配电等，某层净化车间的上夹道能够兼做上一层的下夹道。